図7では、MAセンサでレジスト基準とパッド基準で測定した3次元変位画像のプロファイルを示す。レジスト基準時にはレジスト表面を変位として捉えており、パッド基準時にはレジスト下の配線パターン形状を測定していることが分かる。






4 仕様 
今回開発したMAセンサを搭載した印刷はんだ検査機の主な仕様を表2に、外観を写真1に示す。







5 おわりに 
今回、これまで困難であったパッド基準を実現し、真のはんだ体積を測定できるMAセンサを開発して、印刷はんだ検査機SOLLEAD-MAをラインアップした。当社の技術が、実装品質の維持に貢献できることと確信する。



  アンリツプレシジョン株式会社
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