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【半導体】スパッタリングターゲット材の光洋応用、TSMCに3nm用も供給
2021-09-16 11:28:31
台湾Solar Applied Materials（光洋応用材料）が、ファウンドリの世界最大手、台湾TSMC（台積電）に対する半導体スパッタリングターゲット材の供給を拡大、このほど3nm（ナノメートル）プロセス用のサンプルを送付し、21年内に認証を完了する見通しだとの情報が台湾の市場や業界に流れた模様だ。

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    【ソース：】TRI