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【半導体】TSMC、世界で初めてウェハー倉庫にAMHS導入　人の負担95％減
2020-07-02 11:54:12
台湾TSMC（台積電）はこのほど、世界初のウェハー倉庫用自動化運搬システム（Automated Material Handling System＝AMHS）を開発したことを明らかにした。既に2020年第1四半期から同社のウェハー工場「18A」に導入し、倉庫作業員の1日あたりの運搬量を95％減らしたという。

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    【ソース：】TRI