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【産業動向】 ASMLのEUV露光装置生産、カール･ツァイスの供給不足で停滞の観測
2017-10-17 11:25:24
半導体製造装置大手、オランダASMLで、EUV（極端紫外線）露光装置の生産に遅れが出ている模様だ。独カール・ツァイス（Carl Zeiss）による光学レンズの供給に限りがあるのが原因だという。

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    【ソース：】TRI